四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的一種電子氣體，是一種非常強(qiáng)的溫室氣體。直接排放將會(huì)給全球環(huán)境帶來(lái)巨大的破壞。

        利用活性炭治理四氟化碳的主要過(guò)程首先是利用活性炭和吸脫附設(shè)備對(duì)四氟化碳進(jìn)行捕捉吸附，吸附飽和完成后，再進(jìn)行脫附并回收四氟化碳，回收的四氟化碳經(jīng)過(guò)提純后可重復(fù)使用?；钚蕴吭谑褂?-2年后失效，可在反應(yīng)爐中與氟氣反應(yīng)生成四氟化碳，吸附的四氟化碳也在生產(chǎn)過(guò)程中釋放回收，達(dá)到四氟化碳的循環(huán)使用。

        四氟化碳專(zhuān)用活性炭的主要特點(diǎn)在于不但能夠高效吸附電子氣體，特別是四氟化碳，而且在吸附飽和后仍能滿(mǎn)足利用活性炭制備四氟化碳的要求，這就要求活性炭具有較高吸附值和較低酸溶性物質(zhì)，還要有合適的比表面積與孔隙分布，以便于制備過(guò)程中提升反應(yīng)效率。我公司利用固定碳含量高的煤種，通過(guò)工藝進(jìn)一步降低灰分和堿金屬物質(zhì)，再通過(guò)活化控制比表面積孔隙率，使得活性炭在滿(mǎn)足吸附脫附要求的同時(shí)也滿(mǎn)足了制備四氟化碳的需求。該活性炭在四氟化碳生產(chǎn)工藝中對(duì)粗品純度有較大提高，為下一步精餾處理大大降低了負(fù)擔(dān)和額外消耗。

四氟化碳活性炭回收CF4和再利用流程

四氟化碳專(zhuān)用活性炭參數(shù)表（QB/HH/QMSP01-01-2018）